芯片3D尺寸測量儀

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芯片3D尺寸測量儀

半導體芯片封裝高精度檢測設備主要滿足前道封裝管殼長寬、平面度;封裝過程中的金線直徑、弧長和弧高,後道封裝的導線架引線間距、寬度。

半導體芯片封裝高精度檢測設備是科唯儀器針對半導體類小而精的產品進行高精高效率測量的檢測設備。設計理念追求化繁為簡,采用8X或13X物方遠心鏡筒配備10X/0.3高分辨率金相物鏡,實現精而準的測量需求。


Product details


● 機臺架構

    機臺由堅固的鋁合金框架和運動平臺組成,龍門結構直接安裝在機臺架構的主體上,並在結構強度上做了特殊的加強。CCD和同軸金相光學系統固定,在機臺運行時防止震動。

● 光源

    平行光光源安裝在CCD正下方,並固定在機臺的主體結構上,確保CCD接收到的為平行光。對被測工件進行垂直掃描,進而完成尺寸的測量。

● 開放式測量平臺

    機臺的裝載平臺采用三面開的設計,方便雙手同時進行多片零件的擺放操作。測量平臺可以100%從保護殼內伸出,方便與機械手臂的整合。長時間不使用機臺時,測量平臺也可以完移動到保護殼內,防止積灰。 

● 自動測量模塊

    直觀的測量界面,方便操作員立即發現未通過檢測的工件,以及超過公差範圍的產品。

    無需精確擺放被測工件,操作員可快速裝載多片工件,系統自動識別並測量被測產品。

    自動收集所有必須的數據做統計,為每一個測量的單件創建一份報告,無需額外增加時間。

    可測量元素:長度、距離、內徑、外徑、角度、平行度、對稱性、正交性、輪廓的任何幾何測屋,DXF比對等。

專業應用,只為半導體測量而生

    廣泛的應用於:COC封裝(共晶貼片、焊線精度)、COB/BOX封裝、T046/T033封裝、T056/T038、晶元植球等光通訊行業;平板顯示(柔性屏)、LED (EMC封裝、背光源封裝、RGB封裝)等芯片貼片位置;焊盤高度等精密尺寸測量。

● 測量芯片位置尺寸

● 測量芯片XY位置

● 測量封帽後芯片同心度

● 測量共晶後芯片同心度、高度、打線的焊盤大小

● 測fi焊盤高度、線弧高度

● PCB的芯片與基板,插入之後的芯片高度和角度

● 綁定線高度


規格參數:

型號

AG200

AG300

測量範圍(mm)

200*200*150

300*300*150

XY精度(μm)

1.5+L/200

1.6+L/200

Z軸精度(μm)

2.0+L/200

2.0+L/200

XY矢量精度(μm)

2.0+L/200

2.5+L/20

承载重量

25kg

光柵尺分辨率

0.1 um金屬貼片光柵尺

XY最大速度

100mm/s

XY最大加速度

600mm/s

Z軸最大速度

30mm/s

光學變焦

0.6-5x自動變倍同軸光鏡筒(1: 8)+10x金相物鏡

光學倍率

183x

1124x

照明光源

可程控調節:LED同軸反射光源/光源球積分平行光路透射光源(白光)

選購件

5X、20X金相物鏡/氣浮隔震裝置